加速度传感器芯片与工业用加速度传感器区别

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RT，不胜烦闷，一知半解。求教各位有一个系统的解答么？

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·压电式- 原理和特点
　　压电式传感器是利用弹簧质量系统原理。敏感芯体质量受振动加速度作用后产生一个与加速度成正比的力，压电材料受此力作用后沿其表面形成与这一力成正比的电荷信号。压电式加速度传感器具有动态范围大、频率范围宽、坚固耐用、受外界干扰小以及压电材料受力自产生电荷信号不需要任何外界电源等特点，是被最为广泛使用的振动测量传感器。虽然压电式加速度传感器的结构简单，商业化使用历史也很长，但因其性能指标与材料特性、设计和加工工艺密切相关，因此在市场上销售的同类传感器性能的实际参数以及其稳定性和一致性差别非常大。与压阻和电容式相比，其最大的缺点是压电式加速度传感器不能测量零频率的信号。

　　·压阻式
　　应变压阻式加速度传感器的敏感芯体为半导体材料制成电阻测量电桥，其结构动态模型仍然是弹簧质量系统。现代微加工制造技术的发展使压阻形式敏感芯体的设计具有很大的灵活性以适合各种不同的测量要求。在灵敏度和量程方面，从低灵敏度高量程的冲击测量，到直流高灵敏度的低频测量都有压阻形式的加速度传感器。同时压阻式加速度传感器测量频率范围也可从直流信号到具有刚度高，测量频率范围到几十千赫兹的高频测量。超小型化的设计也是压阻式传感器的一个亮点。需要指出的是尽管压阻敏感芯体的设计和应用具有很大灵活性，但对某个特定设计的压阻式芯体而言其使用范围一般要小于压电型传感器。压阻式加速度传感器的另一缺点是受温度的影响较大，实用的传感器一般都需要进行温度补偿。在价格方面，大批量使用的压阻式传感器成本价具有很大的市场竞争力，但对特殊使用的敏感芯体制造成本将远高于压电型加速度传感器。
   MEMS（微机电系统）是用硅片切割出来的，故通常也叫做芯片，体积是很小的。压电式的其中工业测量方面只是一小部分，实验室测量也占很大比重。

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MEMS结合了微电子技术与机械工程技术，其将毫米（mm）至微米(μm）尺度内的机械零件、传感器、致动器与电子单元等整合在硅基板之上。MEMS的应用领域很广，基本上任何需要机械组件的小型化电子系统都可能使用到MEMS，例如惯性感测器、开关和继电器、谐振器和机械滤波器、微型电容器、电感和探头以及倾斜计、电子管、DNA序列分析仪、化学和生物药剂感测器等；涵盖了信息、通讯、消费性、汽车、生医、工业等各个领域。

　　最早的微机电设计可以追溯到1970年初期，最早期的研究包括石英晶体谐振器（Quartz Resonator）和压力感测器等，然后出现了对打印机的喷墨头（Ink Jet）及气相层析仪（gas chromatography）等技术的研究。1975年后，加速度传感器、数码光投影机、微流体（Micro-Fluidics）技术、MEMS振荡器、MEMS开关（Switch）等的研究也开始进行。1985年左右开始出现MEMS迈克风。薄膜体声波谐振器（Film Bulk Acoustic Resonator，FBAR）和陀螺仪（Gyroscope）等则是90年代以后才开始涌现的新领域。

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压电传感器对比MEMS传感器信噪比要高