梳齿式电容的仿真分析

彩彩 · 发表于 2013-10-14 22:23

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我想仿真分析微机械加速度计的电容仿真
1.是现在用的比较多的梳齿式的电容
2.我们计划选用单晶硅材料
3.所以单元类型和材料属性这个我不知道怎么设定
4.由于有很多对齿，所以那个部件命名，这个我也不懂
5.看很多材料里面说最终用CMATRIX宏命令去做，这个也不懂
求指教

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[电磁场分析] 梳齿式电容的仿真分析