ycitywt 发表于 2010-9-3 16:31

请教各位大虾有关气浮工作台的振动控制

有以下几个问题：
1.我知道目前精密工作台主要有利用柔性链接，或者气浮轴承，不知道还有没有其他方式的
2有关气浮轴承的供气反馈系统
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